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潔凈室氣流組織的主要任務(wù)，是供給足量的清潔空氣，稀釋并替換室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì)，使室內(nèi)潔凈度保持在允許范圍之內(nèi)。 潔凈室氣流組織設(shè)計(jì)應(yīng)遵循以下一般原則： 1）要求送入潔凈室的潔凈氣流擴(kuò)散速度快、氣流分布均勻，盡快稀釋室內(nèi)含有污染源所散發(fā)的污染物質(zhì)的空氣，維持生產(chǎn)環(huán)境所要求的潔凈度。 2)使散發(fā)…

潔凈室的壓差就是潔凈室與周?chē)臻g所必須維持的靜壓差。潔凈室與鄰室維持正的靜壓差（簡(jiǎn)稱(chēng)正壓）是較為常見(jiàn)的情況，實(shí)際工程中的工業(yè)潔凈室和一般生物潔凈室都是維持正壓。 但對(duì)于使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室，生產(chǎn)致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的潔凈室需要…

潔凈室新風(fēng)量對(duì)于補(bǔ)充排風(fēng)系統(tǒng)所需、保證室內(nèi)空氣質(zhì)量、?維護(hù)作業(yè)人員健康、?確保生產(chǎn)安全等方面具有不可替代的作用。 潔凈室新風(fēng)量計(jì)算 滿(mǎn)足衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量 滿(mǎn)足衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量分兩種情況： 1）對(duì)于室內(nèi)無(wú)明顯有害氣體發(fā)生的一般情況，根據(jù)GB50073-2013《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定，保證供給潔凈室內(nèi)的新…

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的風(fēng)速檢測(cè)都是重要和必須的。只有準(zhǔn)確測(cè)定風(fēng)速、風(fēng)速均勻性、送風(fēng)量等氣流參數(shù)，才能依據(jù)這些數(shù)據(jù)判斷潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空調(diào)凈化系統(tǒng)是否具備維持所要求的潔凈度、溫度、濕度等技術(shù)參數(shù)的基本能力。 風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。 ①亂…

氣態(tài)分子污染物(AMC)已經(jīng)成為影響半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素，主要表現(xiàn)為表面分子污染，這是由氣態(tài)分子和特定表面作用而形成非常薄的化學(xué)膜，化學(xué)膜通常改變產(chǎn)品表面的物理、電子、化學(xué)和光學(xué)特性而導(dǎo)致質(zhì)量缺陷，造成產(chǎn)品良品率下降。 AMC種類(lèi)復(fù)雜，根據(jù)SEMI發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)中將AMC分為四類(lèi):1.酸性分子污染物：如HF、SO2、C…